[发明专利]磁记录媒体的制造方法无效
| 申请号： | 200510006895.0 | 申请日： | 2005-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN1661689A | 公开（公告）日： | 2005-08-31 |
| 发明（设计）人： | 服部一博;大川秀一;诹访孝裕;日比干晴 | 申请（专利权）人： | TDK股份有限公司 |
| 主分类号： | G11B5/84 | 分类号： | G11B5/84 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高龙鑫;潘培坤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够效率良好地制造磁记录媒体的制造方法，该磁记录媒体具有以凹凸图案形成的记录层、表面充分平坦且记录再现精度良好。其构成为包括下述工序：非磁性材料填充工序(S104)，其在基板上以指定的凹凸图案形成的记录层上，形成非磁性材料的膜，从而填充前述凹凸图案的凹部；平坦化工序(S106)，其通过离子束蚀刻，除去前述记录层上的剩余的前述非磁性材料，并平坦化表面。 | ||
| 搜索关键词： | 记录 媒体 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种磁记录媒体的制造方法，其特征在于包括下述工序：非磁性材料填充工序，其在基板上以指定的凹凸图案形成的记录层上，形成非磁性材料的膜，从而填充前述凹凸图案的凹部；平坦化工序，其通过离子束蚀刻，除去前述记录层上的剩余的前述非磁性材料，并平坦化表面。
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