[发明专利]光干涉式彩色显示面板的制造方法

摘要

本发明是有关于一种光干涉式彩色显示面板的制造方法，首先是在一基板上形成一第一电极结构。之后在第一电极结构上定义出至少一第一区域、第二区域与第三区域。接着，在第一区域、第二区域与第三区域内的第一电极结构上形成一第一牺牲层，在第二区域与第三区域内的第一牺牲层上形成一第二牺牲层，并在第三区域内的第二牺牲层上形成一第三牺牲层，而对于相同或不同的蚀刻液而言，各牺牲层的被蚀刻速率皆不相同。接着，形成一图案化支撑层在第一电极结构上，随后形成一第二电极层并移除所有的牺牲层，以形成多个空气间隙。因此，由于各牺牲层的被蚀刻速率不相同，故可有效控制所形成的空气间隙。

主权项

1、一种光干涉式彩色显示面板的制造方法，其特征在于其包括以下步骤：提供一基板，在该基板上形成一第一电极结构；在该第一电极结构上定义出一第一区域、一第二区域与一第三区域；在该第一区域、该第二区域与该第三区域内的该第一电极结构上形成一第一牺牲层；在该第二区域与该第三区域内的该第一牺牲层上形成一第二牺牲层；在该第三区域内的该第二牺牲层上形成一第三牺牲层，而该第一牺牲层、第二牺牲层与第三牺牲层的被蚀刻速率皆不相同；在该第一电极结构上形成一图案化支撑层；形成一第二电极层在该第一区域的该第一牺牲层、该第二区域的该第二牺牲层、该第三区域的该第三牺牲层，以及该图案化支撑层的部分区域上；以及移除该第一牺牲层、该第二牺牲层与该第三牺牲层，以在该第一电极结构与该第二电极层之间形成多数个空气间隙。