[发明专利]光波导及其制造方法有效
申请号: | 200510008165.4 | 申请日: | 2005-02-08 |
公开(公告)号: | CN1657988A | 公开(公告)日: | 2005-08-24 |
发明(设计)人: | 宗和范;望月周;清水裕介;金城直隆 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | G02B6/13 | 分类号: | G02B6/13;G02B6/16 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 胡烨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 为提供能提高生产效率而且操作性及生产稳定性优良的光波导的制造方法、以及由该光波导制造方法制造的光波导,在底层2上涂布含有芴衍生物和光致产酸剂的光聚合性树脂组合物的清漆,经干燥形成表面无粘性的树脂层4。使光掩模5与该树脂层4接触,经接触曝光法使树脂层4曝光后,经显影,使树脂层4形成图形。之后,使树脂层4固化,形成芯层3,然后,在底层2上形成外涂层6将芯层3覆盖,得到光波导。利用本法,由于形成表面无粘性的树脂层4,可经接触曝光法曝光,因而可减少夹入隔离片等的工时和繁杂的工序,可提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 波导 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.光波导制造方法,其特征在于,包括通过含有通式(1)所示的芴衍生物和光致产酸剂的光聚合性树脂组合物形成芯层的工序
式中R1~R4可相同或不同,表示氢原子或碳原子数1~6的烷基;R5和R6可相同或不同,表示氢原子或甲基,n各自独立,表示0~10的整数。
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