[发明专利]估计衬底上的至少一个部件放置位置的方法和执行这种方法的装置无效
| 申请号： | 200510009032.9 | 申请日： | 2005-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN1655667A | 公开（公告）日： | 2005-08-17 |
| 发明（设计）人： | R·M·A·L·佩蒂特;A·德博克;J·M·M·维巴克 | 申请（专利权）人： | 阿森姆布里昂股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K13/04 | 分类号： | H05K13/04;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京 |
| 地址： | 荷兰费*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种用于估计衬底(5)上将放置部件的至少一个部件放置位置的方法，其中根据衬底(5)上的至少一个标记(8)的位置估计部件放置位置(6)，其特征在于，确定标记(8)的统计测量偏差；之后，根据标记(8)的测量偏差估计衬底(5)上的部件放置位置(6)的位置精度；随后，将部件放置位置(6)的估计的位置精度与预定的理想位置精度进行比较；之后，确定部件(3)是否将以部件放置位置(6)的估计位置精度放置在衬底(5)上。 | ||
| 搜索关键词： | 估计 衬底 至少 一个 部件 放置 位置 方法 执行 这种方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于估计衬底上的将放置部件的至少一个部件放置位置的方法，其中根据所述衬底上的至少一个标记的位置估计所述部件放置位置，其特征在于-确定所述标记的统计测量偏差，-之后，根据所述标记的测量偏差估计所述衬底上的部件放置位置的位置精度，-随后，将所述部件放置位置的估计的位置精度与预定的理想位置精度进行比较，-之后，确定所述部件是否将以所述部件放置位置的估计位置精度放置在所述衬底上。
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