[发明专利]用于测量镀敷膜内应力的电极盒和系统有效
申请号: | 200510009191.9 | 申请日: | 2005-02-03 |
公开(公告)号: | CN1651884A | 公开(公告)日: | 2005-08-10 |
发明(设计)人: | 山本渡;秋山胜德;原田文男;津留丰 | 申请(专利权)人: | 株式会社山本镀金试验器 |
主分类号: | G01L1/20 | 分类号: | G01L1/20;G01L1/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李辉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 用于测量镀敷膜内应力的电极盒和系统。用于测量镀敷膜内应力的电极盒包括:阴极支承部、阳极支承部、屏蔽板以及阳极壳。阳极支承部支承阳极板以使阳极板以预定间隔与阴极板相对。屏蔽板插入在阴极板与阳极板之间。在屏蔽板中按这样的方式形成通孔:即,使该通孔面对镀敷部分并具有相对于镀敷部分的几何形状以第一预定比例系数缩小的几何形状。在阳极壳中按这样的方式形成开口:即,使该开口面对镀敷部分并具有相对于镀敷部分的几何形状以第二预定比例系数放大的几何形状。 | ||
搜索关键词: | 用于 测量 镀敷膜 内应力 电极 系统 | ||
【主权项】:
1、一种用于测量镀敷膜的内应力的电极盒,该电极盒包括:阴极支承部,用于将阴极板支承在镀敷液中,该阴极板具有其背面接合有应变计的镀敷部分;阳极支承部,用于将阳极板支承在镀敷液中,使得所述阳极板以预定间隔与所述阴极板相对;屏蔽板,其插在所述阴极板与所述阳极板之间;阳极壳,用于在所述镀敷液中包围所述阳极板的周部和端部,其中,在所述屏蔽板中按这样的方式形成通孔:即,使该通孔面对所述镀敷部分并具有相对于所述镀敷部分的几何形状以第一预定比例系数缩小的几何形状,以及其中,在所述阳极壳中按这样的方式形成开口:即,使该开口面对所述镀敷部分并具有相对于所述镀敷部分的几何形状以第二预定比例系数放大的几何形状。
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