[发明专利]制备Mo合金制靶材料的方法有效
| 申请号： | 200510009585.4 | 申请日： | 2005-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN1660526A | 公开（公告）日： | 2005-08-31 |
| 发明（设计）人： | 岩崎克典;井上惠介;植村典夫 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | B22F3/16 | 分类号： | B22F3/16;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开的是一种制备Mo合金制靶材料的方法，该方法包含下面步骤：(a)通过压制由平均颗粒尺寸不超过20μm的Mo粉末和平均颗粒尺寸不超过500μm的过渡金属粉末组成的原料粉末混合物，制备生坯；(b)粉碎生坯以制备次级粒子，其平均颗粒尺寸为不低于原料粉末混合物的平均颗粒尺寸至不超过10mm；(c)将次级粒子装入到加压用容器中；和(d)对次级粒子和加压用容器在压力下进行烧结，因此得到制靶材料的烧结体。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 mo 合金 材料 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备Mo合金制靶材料的方法，该方法包含下面步骤：(a)通过压制由平均颗粒尺寸不超过20μm的Mo粉末和平均颗粒尺寸不超过500μm的过渡金属粉末组成的原料粉末混合物，制备生坯；(b)粉碎生坯以制备次级粒子，其平均颗粒尺寸为不低于原料粉末混合物的平均颗粒尺寸至不超过10mm；(c)将次级粒子装入到加压用容器中；和(d)对次级粒子和加压用容器在压力下进行烧结，因此得到制靶材料的烧结体。
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