[发明专利]微悬臂梁谐振式酞菁锌薄膜气体传感器及其制备方法无效
| 申请号： | 200510010248.7 | 申请日： | 2005-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN1719240A | 公开（公告）日： | 2006-01-11 |
| 发明（设计）人： | 邱成军;左霞;卜丹;穆长生;安旭 | 申请（专利权）人： | 黑龙江大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;B81C1/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人： | 岳泉清 |
| 地址： | 150080黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 微悬臂梁谐振式酞菁锌薄膜气体传感器及其制备方法，它涉及微电子机械系统气体传感器及其制备，为了解决现有微电子机械系统气体传感器难于实现微型化，不利于集成和智能化的问题。该传感器由微悬臂梁1、压阻拾振电桥2、热激励电阻3组成，在微悬臂梁1上渗有压阻拾振电桥2和热激励电阻3，在热激励电阻3处的微悬臂梁1的上表面上蒸镀有酞菁锌气体敏感膜4，并使酞菁锌气体敏感膜4完全覆盖在热激励电阻3上面。制备方法：A.将压阻拾振电桥2和热激励电阻3集成在硅片上；B.制备微悬臂梁1结构；C.制备酞菁锌气体敏感膜4，D.将酞菁锌气体敏感膜4真空蒸镀在微悬臂梁1上。本发明具有如下特点：输出量为频率信号，对吸附质量分辨率高，还具有成本低、集成化、微型化。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 谐振 式酞菁锌 薄膜 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、微悬臂梁谐振式酞菁锌薄膜气体传感器，它由微悬臂梁(1)、压阻拾振电桥(2)、热激励电阻(3)组成，在微悬臂梁(1)的根部和自由端分别渗有压阻拾振电桥(2)和热激励电阻(3)，其特征在于在渗有热激励电阻(3)处的微悬臂梁(1)的上表面上蒸镀有酞菁锌气体敏感膜(4)，并使酞菁锌气体敏感膜(4)完全覆盖在热激励电阻(3)的上面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于黑龙江大学，未经黑龙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510010248.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
