[发明专利]MEMS高温压力传感器自动键合机无效
| 申请号： | 200510010592.6 | 申请日： | 2005-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN1792937A | 公开（公告）日： | 2006-06-28 |
| 发明（设计）人： | 荣伟彬;谢晖;孙立宁;陈立国 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C03C27/00 | 分类号： | C03C27/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市哈科专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 祖玉清 |
| 地址： | 150001黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提供的是一种MEMS高温压力传感器自动键合机，它包括台面，在台面上设置物流台、操作手、加热炉和显微镜，操作手安装在由4个轴控制的4自由度操作手工作台上，加热炉安装在由2个轴控制的2自由度定位工作台上，显微镜安装包括可上下运动的轴的显微镜自动调焦工作台上。本发明基于显微视觉的高精度、非接触式测量，实现了不论是正面还是反面MEMS高温压力传感器的高精度对准作业；融合视觉/微力觉信息，实现芯片和玻璃基的高精度、无损抓取和搬运；设备的高自动化程度使得其具有批量制造能力，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | mems 高温 压力传感器 自动 键合机 | ||
【主权项】：
1、一种MEMS高温压力传感器自动键合机，它包括台面，在台面上设置物流台、操作手、加热炉和显微镜，其特征是：操作手安装在由4个轴控制的4自由度操作手工作台上，加热炉安装在由2个轴控制的2自由度定位工作台上，显微镜安装包括可上下运动的轴的显微镜自动调焦工作台上。
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