[发明专利]快速减薄透射电镜样品的轰击反应方法无效
| 申请号： | 200510011289.8 | 申请日： | 2005-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN1815162A | 公开（公告）日： | 2006-08-09 |
| 发明（设计）人： | 韩勇;魏然;李池 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学（北京） |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;B01J19/08;H01J37/305;H01J37/34 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 李柏 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于高能离子束加工领域，特别涉及采用轰击反应法快速减薄透射电镜样品技术。本发明的方法采用高能离子束喷溅减薄样品表面，高能离子与样品表面原子发生碰撞与反应，使样品减薄均匀，速度快、薄区大(几十～几百微米范围)，利于进行透射电子显微镜直接观察其内部结构信息。本发明具有工艺简单、重复性好，大面积薄区，易于操作控制和推广应用。本发明特点是兼备轰击减薄与反应减薄的双重作用，减薄样品无应力无机械损伤，减薄样品时速度快、效率高，制备出的减薄样品质量高。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 透射 样品 轰击 反应 方法 | ||
【主权项】：
1.一种快速减薄透射电镜样品的轰击反应方法，其特征是：将金刚石、石墨或有机材料样品放在真空度为10-3～10-4Pa容器里的托台上，以高纯氧气为工作气体，用离子枪喷溅高能离子束减薄样品表面，离子枪操作电压在3～10KV，离子枪操作电流在1～7mA，离子束流30～100μA。
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