[发明专利]深紫外投影光刻物镜

摘要

深紫外投影光刻物镜，包括外层的恒温密封外套、中间层和内层结构，中间层为镜筒，由第一镜筒和第二镜筒用连接件连接而成，内层为十个光学透镜元件及十个分隔固定光学透镜元件的透镜框组件，十个光学透镜元件组成的光学系统为双远心系统，在内层的十个光学透镜元件之间设有分辨力增强组件，分辨力增强组件将十个光学透镜元件分为前后二组物镜，前组物镜由第一至第四透镜组成，后组物镜由第五至第十透镜组成，分辨力增强组件的光栏面既是前组物镜的像方焦面，也是后组物镜的物方焦面，同时也是光学系统的光瞳面。本发明具有分辨力增强能力，克服了现有投影光刻物镜光刻分辨力只能实现传统光学极限分辨力的不足，同时还具有结构简单、成本低、光学缩小倍率大、大幅降低制作超微细掩模难度的特点，使之能制作更高分辨力微细图形。

主权项

1、深紫外投影光刻物镜，包括外层的恒温密封外套(8)、中间层和内层结构，中间层为镜筒，由第一镜筒和第二镜筒用连接件连接而成，内层为十个光学透镜元件及十个分隔固定光学透镜元件的透镜框组件，十个光学透镜元件组成的光学系统为双远心系统，其特征在于：在所述内层的十个光学透镜元件之间设有分辨力增强组件(7)，分辨力增强组件(7)将十个光学透镜元件分为前后二组物镜，前组物镜由第一至第四透镜组成，后组物镜由第五至第十透镜组成，分辨力增强组件(7)的光栏面(23)既是前组物镜的像方焦面，也是后组物镜的物方焦面，同时也是光学系统的光瞳面。