[发明专利]正支共焦非稳腔腔内像差探测系统及调腔方法无效
| 申请号： | 200510011491.0 | 申请日： | 2005-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1664515A | 公开（公告）日： | 2005-09-07 |
| 发明（设计）人： | 张翔;许冰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01J1/02 | 分类号： | G01J1/02;G01J9/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘秀娟;成金玉 |
| 地址： | 610209*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 正支共焦非稳腔调腔和像差探测系统，其特征在于：它由He－Ne光源、正支共焦非稳腔腔镜、光束匹配望远镜、哈特曼－夏克波前传感器、四向限强度传感器、图像采集卡，计算机组成，其中正支共焦非稳腔腔镜由45°反射镜组、耦合输出镜，凸面反射镜、凹面反射镜构成。采用本发明所述基本原理能够精确实现光腔快速调腔共轴，并对腔内像差进行探测、分析处理和判断，并且本发明中采用的哈特曼－夏克波前传感器还具有结构简单、使用方便、抗干扰能力强等优点，像差分析软件则具有实时性好、便于实施腔内像差动态探测的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 正支共焦非稳腔腔内像差 探测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1、正支共焦非稳腔腔内像差探测系统，其特征在于：它由He-Ne光源(1)、正支共焦非稳腔腔镜、光束匹配系统(6)、哈特曼-夏克波前传感器(7)、四向限强度传感器(8)、分光镜(9)、数据处理分析计算机(10)组成，其中正支共焦非稳腔腔镜由45°反射镜组(2)、耦合输出镜(3)，凸面反射镜(4)、凹面反射镜(5)构成，He-Ne光源(1)在45°反射镜组(2)之前，45°反射镜组(2)中第一反射镜(21)和第二反射镜(22)之间的夹角为90°，凸面反射镜(4)位于凹面反射镜(5)之前，耦合输出镜(3)位于凸面反射镜(4)之前；分光镜(9)位于耦合输出光束前方，四向限强度传感器(8)位于分光镜(9)的透射方向，光束匹配系统(6)位于分光镜(9)的反射方向，光束匹配系统(6)的输出经过哈特曼-夏克波前传感器(7)送至数据处理分析计算机(10)中，同时四向限强度传感器(8)的测量结果输出也送至数据处理分析计算机(10)中。
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