[发明专利]电子束曝光过程样片步进定位误差动态补偿系统

摘要

电子束曝光过程样片步进定位误差动态补偿系统，包括CPLD逻辑电路模块(1)、X方向高速光电隔离模块(2)、Y方向高速光电隔离模块(3)、X方向16位高速高精度数模转换模块(4)、Y方向16位高速高精度数模转换模块(5)、X方向输出极性控制模块(6)、Y方向输出极性控制模块(7)、X方向衰减匹配器(8)、Y方向衰减匹配器(9)。电子束曝光过程中样片X方向位置误差信号和Y方向位置误差信号分别通过独立的16位数据线与CPLD逻辑电路模块(1)连接，经过运算和转化，最终在输出端口上得到X方向和Y方向的偏转电压信号。此信号导入到电子束曝光机的偏转线圈控制电路，控制电子束曝光机的聚焦电子束的扫描位置实现对样片步进误差的动态补偿。

主权项

1、一种电子束曝光过程样片步进定位误差动态补偿系统，其特征在于它由CPLD逻辑电路模块[1]、X方向高速光电隔离模块[2]、Y方向高速光电隔离模块[3]、X方向16位高速高精度数模转换模块[4]、Y方向16位高速高精度数模转换模块[5]、X方向输出极性控制模块[6]、Y方向输出极性控制模块[7]、X方向衰减匹配器[8]、Y方向衰减匹配器[9]等组成；X方向步进定位误差信号和Y方向步进定位误差信号分别通过独立的16位数据线与接口电路CPLD逻辑电路模块[1]的输入数据线XIN0-XIN15以及YIN0-YIN15连接；X方向高速光电隔离模块[2]的输入数据线XMLD0-XMLD15和CPLD逻辑电路模块[1]的U2输出数据线B0-B15连接，Y方向高速光电隔离模块[3]的输入数据线YMLD0-YMLD15和CPLD逻辑电路模块[1]的U3输出数据线B0-B15相连接；X方向高速光电隔离模块[2]的输出数据线D0-D15与X方向16位高速高精度数模转换模块[4]的输入数据线XDLB0-XDLB15相连接，Y方向高速光电隔离模块[3]的输出数据线D0-D15与Y方向16位高速高精度数模转换模块[5]的输入数据线XDLB0-XDLB15连接；X方向输出极性控制模块[6]的输入端点：X方向同向器的X-SIN和X方向反向器的X-RIN与16位高速高精度数模转换模块[4]的输出端口X-OUT连接，Y方向输出极性控制模块[7]的输入端：Y方向同向器的Y-SIN，Y方向反向器的Y-RIN与16位高速高精度数模转换模块[5]的输出端口Y-OUT连接；X方向衰减匹配器[8]的输入端XAIN与X方向输出极性控制模块[6]的输出端XPOUT相连接，Y方向衰减匹配器[9]的输入端YAIN与Y方向输出极性控制模块[7]的输出端YPOUT相连接。