[发明专利]铝硅键合线的无模连铸工艺方法

摘要

本发明属于合金材料的冶炼和加工，它具体涉及一种集成电路用键合线AI－1％Si线材的无模连铸技术。在该工艺中，首先制备AL－(10％－20％)Si铝硅中间合金铸锭，再向纯铝熔液中加入中间合金铸锭，制成AL－(0.85－1.15％)SI熔液，用无模连铸方式制成铝硅合金单向柱状晶组织线材。该技术最大特点是取消了铸型，利用铝合金溶液的表面张力直接牵引并迅速冷却，形成了极薄的固－液两相区，大大提高了固－液界面的温度梯度，加之准确控制冷却水的冷却强度和合金液的静压面，保证沿线材纵向方向散热，获取了单向均匀排列的柱状晶组织结构,棒料直径为φ5－φ8mm，它是生产键合铝线所需的理想坯料。该成品获取的最佳柱状晶取向，为后续拔制键合线极细丝奠定了良好的组织基础。

主权项

1.一种铝硅键合线的无模连铸工艺方法，其特征是该无模连铸的产品具有单向柱状晶的结构，它的工艺过程如下：①制备中间合金：取纯铝99.999％、单晶硅99.999％制成AL-(10～20％)SI合金铸锭；②在熔炼炉的纯铝熔液中加入中间合金铸锭，制成AL-(0.85-1.15％)SI溶液，合金一体熔化温度720-780℃；③熔炼炉中的熔液用氮气或氩气保护，从连铸炉侧面插入牵引棒，引出熔料，送至导轮，其出口温度为720-780℃；④冷却水流量70-120L/H，冷却介质温度0-15℃；⑤牵引出棒料的牵引速度500-1500mm/min，连铸过程的保护气体为氮气或氩气，静压面高度5-15mm。