[发明专利]一种X射线组合透镜及其制作工艺无效
| 申请号： | 200510016552.2 | 申请日： | 2005-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN1811491A | 公开（公告）日： | 2006-08-02 |
| 发明（设计）人： | 梁静秋;乐孜纯;孔庆峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;G21K1/00 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 130031吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明属于X射线微结构光学器件，尤其是X射线组合透镜及其制作工艺。本发明包括：支撑体，透镜主体和空气腔。首先在单晶硅片表面依次制作聚酰亚胺和金属薄膜，光刻、电铸，去胶，开窗口，完成X射线光刻掩膜制作；然后，在钛片表面制备X射线光刻胶，用制备好的掩膜进行X射线光刻形成双抛物面型透镜形状的光刻胶结构和空气腔形状的空隙；最后进行电铸，塑铸，完成X射线组合透镜制作。本发明的优点是采用了抛物面结构透镜并采用LIGA技术制作，减小了聚焦成像时的球差，降低了粗糙度，减小了散射；高度方向的集光口径增大，提高辐射透过率。此外，可以制作出一体化、一次性精密加工成型、不需要精密装调、多种材料的X射线聚焦组合透镜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射线 组合 透镜 及其 制作 工艺 | ||
【主权项】：
1、一种X射线组合透镜，其特征在于：包括：支撑体(1)、透镜主体(2)、空气腔(3)，在支撑体(1)的一个表面制备有透镜主体(2)，透镜主体(2)由若干个双抛物面型透镜单元(4)顺序排列组成，透镜主体(2)的焦距尺寸大于透镜主体(2)的长度，在双抛物面型透镜单元(4)之间有空气腔。
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