[发明专利]微小型光纤光谱仪的结构及其狭缝的制作方法

摘要

本发明涉及微小型光纤光谱仪的结构及其制作方法。包括安装槽1、支架2、第一螺纹孔3、第一槽4、第二槽5、光阑6、第三槽7、第四槽8、台阶面9、入口10、第二螺纹孔11、第三螺孔12、出口13、压盖14、成像反射镜15、准直反射镜16、光栅17、狭缝23，对狭缝坯体氧化、涂胶、光刻形成带凹坑图形，腐蚀、去胶然后涂胶、光刻形成狭缝孔图形，再ICP刻蚀或湿法腐蚀，形成不通透沟槽的狭缝坯体并去胶，ICP刻蚀或湿法腐蚀得到凹坑和狭缝孔。通过采用微机械工艺制备体积微小、价格低廉的狭缝，结构紧凑、体积小的支架，集成化的光阑，使得支架与光学系统形成一体，光学元件准确快速定位和牢固固定，从而实现了空间结构简单、集成化的微小型光纤光谱仪。

主权项

1、微小型光纤光谱仪的结构，其特征在于：包括：在支架2本体上有安装槽(1)、第一螺纹孔(3)、第一槽(4)、第二槽(5)、光阑(6)、第三槽(7)、第四槽(8)、台阶面(9)、入口(10)、第二螺纹孔(11)、第三螺孔(12)、出口(13)、压盖(14)、成像反射镜(15)、准直反射镜(16)、光栅(17)、狭缝(23)；在支架(2)本体上的安装槽(1)、第一槽(4)、第二槽(5)、第三槽(7)和第四槽(8)与第一螺纹孔(3)轴线相互平行，并且垂直于支架(2)的上表面；入口(10)的轴线与第二槽(5)的底面相交；第一槽(4)位于安装槽(1)与第二槽(5)之间，且第一槽(4)的底面与出口(13)相对，使光栅(17)衍射后的光汇聚成像在出口(13)处；支架(2)的上表面与下表面相互平行；靠近第二槽(5)的光阑(6)的侧面与第二槽(5)的底面平行或相交，光阑(6)的工作面与第四槽(8)靠近出口(13)处的侧面平行；台阶面(9)与第四槽(8)靠近入口(10)的一个侧面相交；入口(10)和第二螺纹孔(11)两者的轴线相互平行，并且垂直于支架(2)靠近入口(10)的一个侧面；第三槽(7)靠近出口(13)；第三螺孔(12)轴线与出口(13)相互平行，并且垂直于支架(2)靠近出口(13)的一个侧面；成像反射镜(15)的安装面安置在第一槽(4)内，准直反射镜(16)的安装面安置在第二槽(5)内，光栅(17)的安装面安置在第四槽(8)内；压盖(14)安置在安装槽(1)内，狭缝(23)安置在压盖(14)内。