[发明专利]光泵浦高功率垂直外腔面发射激光器无效
| 申请号： | 200510016969.9 | 申请日： | 2005-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN1710763A | 公开（公告）日： | 2005-12-21 |
| 发明（设计）人： | 路国光;单肖楠;何春凤;秦丽;宴长岭 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/14;H01S5/04 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 马守忠 |
| 地址： | 130031吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体激光技术领域，具体涉及光泵浦高功率垂直外腔面发射激光器，其构成包括：泵浦光源1、外延片2、热沉3、外腔镜4、倍频晶体5；外延片2包括窗口层6、保护层7、有源区8、多层布拉格反射镜11、衬底12；有源区8包括量子阱层9、吸收层10。特征在于量子阱层9中包含2－3个量子阱的光泵浦高功率垂直外腔面发射技术，从而提高了激光器的填充因子，降低阈值电流密度，提高外量子阱效率，因此提高了器件的输出功率。本发明得到一种线性极化的，圆形对称的，近于衍射极限的高功率激光输出。另外，本发明采取光泵的方式，工艺大大简化，减少了光刻，制作电极，镀膜等很多道程序，不但减少了成本，也大大提高了成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 光泵浦高 功率 垂直 外腔面 发射 激光器 | ||
【主权项】：
1、一种光泵浦高功率垂直外腔面发射激光器，包括：泵浦光源1、外延片2、热沉3、外腔镜4、倍频晶体5；其中外延片2包括窗口层6、保护层7、有源区8、多层布拉格反射镜11、衬底12；其中有源区8包括量子阱层9、吸收层10；其特征在于量子阱层9中的量子阱个数范围选择在2-3个。
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