[发明专利]一种带望远镜谐振腔的垂直外腔面发射半导体激光器

摘要

本发明属于半导体激光技术领域，具体涉及一种带望远镜谐振腔的垂直外腔面发射激光器，由于采用增透膜(4)、微通道散热片(13)和望远镜(14)。外腔镜(2)与半导体分布布拉格反射镜(8)相隔20－50mm，构成激光器的外腔，在外腔中加入望远镜(14)就构成了望远镜谐振腔。采用望远镜谐振腔，能够获得可靠的大体积TEM₀₀模工作，对望远镜进行适当调节，能够控制选模过程。本发明的HfO₂增透膜，粘附性好、致密、均匀、无针孔、在有效通光孔径内膜层无裂纹、擦痕、点子、灰雾及色斑、可以用于苛刻的环境中。

主权项

1、一种带望远镜谐振腔的垂直外腔面发射半导体激光器，包括：泵浦光源(1)、窗口层(5)、光吸收层(6)、周期性多量子阱有源增益区(7)、半导体分布布拉格反射镜(8)、焊料(9)、散热片(10)、热沉(11)、导热胶(12)，其特征在于还包括：外腔镜(2)、高反射介质膜(3)、增透膜(4)、微通道散热片(13)，望远镜(14)；外腔镜(2)的凹面与高反射介质膜(3)固定连接，窗口层(5)下端面与光吸收层(6)的上端面固定连接，光吸收层(6)下端面与周期性多量子阱有源增益区(7)的上端面固定连接，周期性多量子阱有源增益区(7)下端面与半导体分布布拉格反射镜(8)的上端面固定连接，半导体分布布拉格反射镜(8)下端面通过焊料(9)与散热片(10)的上端面固定连接，散热片(10)下端面通过焊料(9)与热沉(11)的上端面固定连接；其特征在于它还包括：增透膜(4)、微通道散热片(13)、望远镜(14)；增透膜(4)与窗口层(5)的上端面固定连接；热沉(11)下端面通过导热胶12与微通道散热片(13)的上端面固定连接，外腔镜(2)与半导体分布布拉格反射镜(8)相隔20-50mm，构成激光器的外腔，在外腔中加入望远镜(14)就构成了望远镜谐振腔，外腔镜(2)上下两端固定在光学微调架上。这样就实现了一种带望远镜谐振腔的垂直外腔面发射半导体激光器。