[发明专利]一种碳纳米管阴极材料的制作工艺

摘要

本发明涉及一种采用紫外光照射和丝网印刷法相结合来制作大面积碳纳米管阴极的制作工艺，调配了碳纳米管浆料，制备了碳纳米管阴极图案，具有制作工艺简单、制作成本低廉、制作过程稳定可靠、所制作图案线条精度更高、质量更加优良的优点。

主权项

1、一种碳纳米管阴极材料的制作工艺，其特征在于：包括如下工艺步骤：1)、阴极基底玻璃(1)的划片：对整体平板玻璃进行划片；2)、阴极导电条(2)的制作：在阴极基底玻璃(1)上蒸镀一层锡铟氧化物薄膜层；对蒸镀的锡铟氧化物薄膜层进行光刻，形成阴极导电条(2)；3)、碳纳米管粉末材料的准备：对碳纳米管粉末进行提纯，清除掉粉末当中的杂质，并进行大团碳纳米管颗粒的离散工作；4)、碳纳米管浆料的制作：首先将离散后的碳纳米管粉末、少量石墨浆料混合在一起，然后再将混合浆料和感光胶搅拌在一起，并搅匀，形成印刷用的碳纳米管浆料；5)、碳纳米管阴极图案的印刷：结合丝网印刷工艺，将碳纳米管浆料印刷到阴极导电条(2)上面；对印刷后的碳纳米管浆料进行初期低温烘烤固化，温度：80℃，持续时间：30分钟；6)、碳纳米管阴极浆料的曝光：对阴极基底玻璃(1)上的碳纳米管阴极浆料进行曝光；使用的光源为紫外线照射；7)、碳纳米管阴极浆料的显影：对经过紫外光照射的碳纳米管阴极浆料进行显影。在使用负性胶的情况下，被紫外光照射过的地方将会被保留，而没有被紫外光照射过的地方，其感光胶会失效，被显影液去除掉，搅拌在其感光胶当中的碳纳米管和石墨浆料也会随之去掉；若使用正性胶，则情形相反；8)、碳纳米管阴极浆料的高温烘烤：对显影过的碳纳米管阴极浆料进行高温烘烤；烘烤温度为450℃，保持时间为30分钟；9)、碳纳米管阴极(3)的后处理：对高温烘烤过碳纳米管阴极进行常规的摩擦后处理，以期进一步改善碳纳米管阴极(3)的形貌。