[发明专利]一种用于圆片真空封装的夹具无效
| 申请号： | 200510018220.8 | 申请日： | 2005-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN1644484A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 汪学方;张鸿海;刘胜;关荣锋;王志勇;甘志银;史铁林;林栋 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00;B81C5/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 朱仁玲 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于圆片真空封装的夹具，在托盘上装有二套或三套夹紧装置，每套夹紧装置由两个平行四杆机构组成，该机构的结构为，第一连杆通过第四销轴与第一从动杆的一端连接，第一连杆的一端通过第三销轴与第一主动杆的一端连接，在第一连杆的另一端固定第一压片，第一弹簧的两端分别接在第一主动杆的另一端及支座上，第一主动杆通过第一销轴接在支座上，第一从动杆的另一端通过第二销轴接在支座上，支座与托盘相固定。本发明定位精度高；采用平行四杆机构实现双稳态，使定位和夹紧更加合理，不易损坏MEMS器件；操作简单，既可实现自动化操作，也可手动操作；适用于真空环境下的MEMS器件的阳极键合、共晶键合等定位精度要求高的场合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 封装 夹具 | ||
【主权项】：
1.一种用于圆片真空封装的夹具，其特征在于：在托盘(2)上开有定位孔(3)，在托盘(2)上装有二套或三套夹紧装置，每套夹紧装置的结构是，第一连杆(5)通过第四销轴(6)与第一从动杆(7)的一端连接，第一连杆(5)的一端通过第三销轴(8)与第一主动杆(9)的一端连接，在第一连杆(5)的另一端固定第一压片(4)，第一弹簧(10)的两端分别接在第一主动杆(9)的另一端及支座(1)上，第一主动杆(9)通过第一销轴(18)连接在支座(1)上，第一从动杆(7)的另一端通过第二销轴(19)连接在支座(1)上，支座(1)与托盘(2)相固定；第二连杆(16)通过第六销轴(15)与第二从动杆(14)的一端连接，第二连杆(16)的一端通过第五销轴(13)与第二主动杆(12)的一端连接，在第二连杆(16)的另一端固定第二压片(17)，第二弹簧11的两端分别接在第二主动杆(12)的另一端及支座(1)上，在第二主动杆(12)的另一端与支座(1)之间接有第二弹簧(11)，第二主动杆(12)通过第一销轴(18)连接在支座(1)上，第二从动杆(14)的另一端通过第二销轴(19)连接在支座(1)上。
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