[发明专利]等离子体谐振腔可调谐波导装置

摘要

本发明涉及一种用于PCVD光纤预制棒加工机床的等离子体谐振腔可调谐波导装置，包括有垂直相交的两段波导，水平设置的矩形波导通过适配器与垂直设置的圆柱波导或同轴波导相连接，矩形波导的另一端与双向定向耦合器相连，双向定向耦合器中设置有入射能量传感器和反射能量传感器，其特征在于在矩形波导中设置自动调谐器。本发明的有益效果在于：1.通过在波导系统设置自动调谐器，能使波导系统很好地与谐振腔负载匹配，从而实现能量耦合的实时控制；2.有助于提高PCVD工艺的加工精度和效率，同时避免微波对系统器件的损坏，提高等离子体谐振腔微波系统的有效使用寿命；3.结构简单，使用调节性能可靠，自动化程度高。

主权项

1、一种等离子体谐振腔可调谐波导装置，包括有垂直相交的两段波导，水平设置的矩形波导(4)通过适配器(3)与垂直设置的圆柱波导(2)或同轴波导相连接，矩形波导的另一端与双向定向耦合器(6)相连，双向定向耦合器中设置有入射能量传感器(7)和反射能量传感器(8)，其特征在于在矩形波导中设置自动调谐器。