[发明专利]MEMS器件真空熔焊装置无效
| 申请号： | 200510018606.9 | 申请日： | 2005-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN1686657A | 公开（公告）日： | 2005-10-26 |
| 发明（设计）人： | 甘志银;汪学方;关荣锋;张鸿海;刘胜;史铁林;王成刚 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B23K11/31 | 分类号： | B23K11/31;B23K11/02 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 方放 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | MEMS器件真空熔焊装置，属于焊接封装装置，目的在于克服现有技术的不足，实现MEMS谐振器件的真空封装。本发明在机架上端固定上支撑臂、其上装有上气缸，机架中部固定下支撑架、其上固定有滑动支撑架，滑动支撑架与上气缸驱动的滑动臂滑动连接，滑动臂下端面固定连接上焊臂；机架下部固定下支撑臂、其上装有下气缸，下气缸与下焊臂连接；上、下焊臂分别通过上、下电极连接带连接直流电源；上焊臂垂直部分围有上气室；下焊臂垂直部分围有下气室，下气室固定于下支撑架上；上气室或下气室侧壁装设有用于抽真空的真空接口。本发明热量集中、焊接加热时间短，焊接变形小，焊接器件成品率高，成本低，能够适应多类同种及异种金属的焊接。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 真空 熔焊 装置 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS器件真空熔焊装置，在机架上端固定上支撑臂、其上装有上气缸，机架中部固定下支撑架、其上固定有滑动支撑架，滑动支撑架与上气缸驱动的滑动臂滑动连接，滑动臂下端面通过绝缘板固定连接T形上焊臂；机架下部固定下支撑臂、其上装有下气缸，下气缸与穿过下支撑架台面的T形下焊臂连接；上焊臂、下焊臂分别通过上电极连接带、下电极连接带连接直流电源；其特征在于：所述T形上焊臂垂直部分外部围有圆筒形上气室；所述T形下焊臂垂直部分外部围有圆筒形下气室，圆筒形下气室固定于下支撑架上；圆筒形上气室或圆筒形下气室侧壁装设有用于抽真空的真空接口。
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