[发明专利]一种氧化铝纳米模板光子晶体的制备方法

摘要

本发明公开了一种氧化铝纳米模板光子晶体的制备方法，它使氧化铝模板具有周期性介电结构，从而具有光子带隙。该方法的主要采用的步骤是将经过表面处理溶解掉氧化铝的铝片进行阳极氧化，先以较高电压阳极氧化然后降低到较低电压进行阳极氧化并反复重复该步骤由于周期性调制阳极氧化电压，使在铝片表面形成的氧化铝纳米结构发生周期变化，形成周期性孔洞结构，在该网状周期结构中存在氧化铝和空气的周期性介电结构从而具备光子晶体的性质。该方法不仅操作方便、制作成本低、可大面积生产光子晶体，而且制备出的三维氧化铝纳米模板层数可控、带隙的深浅及位置可调，从而在光学器件制备领域有广泛的应用前景。

主权项

1、一种氧化铝纳米模板光子晶体的制备方法，其特征在于在适当环境温度下采用如下步骤制备：(1)对铝片依次用相应的常规方法进行去油、表面清洗、电化学抛光的处理。(2)对处理过的铝片用常规方法进行阳极氧化，阳极氧化的次数可为1次，也可反复进行数次。(3)用常规方法将阳极氧化后的铝片表面的氧化铝膜溶解。(4)在恒定的电压下将处理过的铝片再次进行阳极氧化，保持适当时间，电压选择在40伏到65伏之间。(5)以0.1v/s～3v/s的速度将电压降到25伏到40伏之间，并使降低后的电压也保持恒定适当时间。(6)再次提高阳极氧化电压，重复步骤(4)(5)，重复次数等于所需要光子晶体的层数。