[发明专利]一种具有环境加载功能的微机电系统动态特性测量装置

摘要

本发明公开了一种具有环境加载功能的微机电系统动态特性测量装置，在调整平台上设置有环境加载装置，其结构为：压电陶瓷可调节式安装于支架内，支承板固定在支架上；加热板固定在支承板上，支架固定在真空腔体上，真空腔体上设置有透光片；被测器件位于环境加载装置上。本发明采用光路转折、聚焦透镜平移使得测量装置结构紧凑，便于调整；利用环境加载装置对振动、温度、和压力进行精确控制，使得测量装置能测量不同环境条件下的微机电系统动态特性。测量装置所采用的微视觉、相移干涉、频闪照明和环境加载可以完成不同环境条件下的微机电系统器件或圆片的三维高分辨率测量、静动态参数提取。

主权项

1、一种具有环境加载功能的微机电系统动态特性测量装置，该装置中的相移控制器、图像采集模块、延时控制模块和信号发生模块分别通过第一、第二控制接口与计算机相连；计算机控制信号发生模块产生脉冲信号，经延时控制模块延时后传送给光源系统，使其发出频闪光；信号发生模块同时为被测器件提供驱动信号；延时控制模块实现频闪脉冲信号和被测器件驱动信号的相对延时；相移控制器控制相移器带动参考平面镜移动，调节光程差，实现干涉图相位的变化；计算机控制成像采集模块采集成像装置上的图像；其特征在于：在调整平台(16)上设置有环境加载装置(15)，其结构为：压电陶瓷(35)可调节式安装于支架(36)内，支承板(44)固定在支架(36)上；加热板(42)固定在支承板(44)上，支架(36)固定在真空腔体(32)上，真空腔体(32)上设置有透光片(40)。