[发明专利]一种基于二维声光偏转器的激光扫描装置

摘要

本发明公开了一种基于二维声光偏转器的激光扫描装置。它包括由正交放置的X向声光偏转器和Y向声光偏转器构成的二维声光偏转器，在二维声光偏转器之前或之后倾斜β度设置有顶角为A的三角棱镜，三角棱镜与二维声光偏转器之间设置有第一反射镜和第二反射镜，使激光导入二维声光偏转器的第一通光孔。在声光偏转器对激光进行二维扫描时，既补偿了二维声光偏转器对超短脉冲光的空间色散，同时也补偿了二维声光偏转器的时间色散。这一装置结构紧凑、易于调节，适用于多光子激发扫描测量与成像，激光微加工等领域，特别适用于需要光斑在多个感兴趣的区域随机跳跃扫描的情况。

主权项

1、一种基于二维声光偏转器的激光扫描装置，包括由正交放置的X向声光偏转器和Y向声光偏转器构成的二维声光偏转器，其特征在于：在二维声光偏转器之前或之后倾斜β度设置有顶角为A的三角棱镜(1)，其中：β值满足(I)式要求，式中Δθy和Δθx分别为二维声光偏转器中第一个声光偏转器和第二个声光偏转器引起的光发散角：$\beta ={\tan }^{-1}\left(\frac{{\mathrm{\Delta \theta }}_y}{{\mathrm{\Delta \theta }}_x}\right)---\left(I\right)$ 顶角A满足(II)式要求，式中Δθz为二维声光偏转器引起的光发散角，n为棱镜对光的折射率，λ0为中心波长，Δλ为带宽，A为棱镜顶角，I1为光入射棱镜的角度：$\left|{\mathrm{\Delta \theta }}_z\right|=\left|\begin{array}{c}{\sin }^{-1}[(n{({\lambda }_0+\mathrm{\Delta \lambda }/2)}^2-{\sin }^2{I}_1{)}^{1/2}\sin A-\cos A\sin I_1]-\\ {\sin }^{-1}[{(n{({\lambda }_0-\mathrm{\Delta \lambda }/2)}^2-{\sin }^2{I}_1)}^{1/2}\sin A-\cos A\sin I_1]\end{array}\right|---\left(\mathrm{II}\right).$