[发明专利]一种二维外形轮廓自扫描投影测量装置

摘要

本发明公开了一种二维外形轮廓自扫描投影测量装置，它包括依次位于同一光路上的激光器、扩束镜、光缝隙、柱面镜组件、CCD和控制器，光缝隙位于光缝隙直线扫描器上，并由其驱动沿X向运动；光缝隙的长度大于被测的几何形体截面Y向的宽度，其缝宽小于X向的测量分辨率；柱面镜组件由柱面镜、或柱面镜和成像透镜组构成，控制器用于运动控制和测量信号的采集和处理。本发明长方向(X)的最小测量分辨率为20μm、宽方向(Y)的最小测量分辨率为1μm，而且被测对象与测量系统没有相对运动，即没有运动误差。由于运动件的质量很小，其扫描的工作极限频率大于200Hz。本发明具有光路短、简单和光噪声小的特点，且还具有结构简单、制造简便和稳定性好的特点。

主权项

1、一种二维外形轮廓自扫描投影测量装置，其特征在于：该装置包括依次位于同一光路上的激光器(1)、扩束镜(2)、光缝隙(4)、柱面镜组件(6)、CCD(7)和控制器(8)，光缝隙(4)位于光缝隙直线扫描器(5)上，并由其驱动沿X向运动；光缝隙(4)的长度大于被测的几何形体截面Y向的宽度，其缝宽小于X向的测量分辨率；柱面镜组件(6)由柱面镜、或柱面镜和成像透镜组构成，控制器(8)用于运动控制和测量信号的采集和处理。