[发明专利]具有高附着力的纳米超硬复合膜刀具及其沉积方法无效
| 申请号： | 200510019890.1 | 申请日： | 2005-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN1776015A | 公开（公告）日： | 2006-05-24 |
| 发明（设计）人： | 吴大维;吴越侠 | 申请（专利权）人： | 吴大维 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C8/24;C23C14/35;B23B27/14;B23C5/16;B23D13/00;B23D81/00 |
| 代理公司： | 武汉宇晨专利事务所 | 代理人： | 黄瑞棠 |
| 地址： | 430071湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有高附着力的纳米超硬复合膜刀具及其沉积方法；涉及新材料领域中表面复合强化方法。本刀具是在刀具9上依次沉积有渗氮层A、基础膜B、超硬膜C、自润滑膜D；本方法是在真空室4的中央，设置一套圆柱形电弧靶1，垂直于底盘；在真空室4内靠外壁处，按反时针方向，依次设置有六套磁控靶2；在真空室炉门5和与炉门5相对的位置，分别设置有1号离子源3.1和2号离子源3.2。本发明是一套完整的金属切削刀具优质涂层镀膜技术，它首先对刀具基体进行高效的等离子渗氮处理，强化了刀具基体，然后镀超硬复合膜，使复合膜具有很高的附着力。本发明对于各类高速钢刀具、硬质合金刀具、陶瓷刀具，以及各种模具都有广泛的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 附着力 纳米 复合 刀具 及其 沉积 方法 | ||
【主权项】：
1、一种具有高附着力的纳米超硬复合膜刀具，其特征在于：在刀具(9)上依次沉积有渗氮层(A)、基础膜(B)、超硬膜(C)、自润滑膜(D)；所述的渗氮层(A)为等离子高效渗氮层，渗氮深度20～40μm；所述的基础膜(B)为掺钇的氮化钛或碳化钛；所述的超硬膜(C)为n层氮化钛铝(C1)和氮化铬铝(C2)交替生长，1000≤n≤9000；所述的自润滑膜(D)为一种掺硅的类金刚石膜。
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