[发明专利]纳米压印机

摘要

本发明提供了一种纳米压印机，包括X－Y粗动工作台、找平装置、X－Y微动工作台、承片板、转动工作台；X－Y粗动工作台由二个步进电机带动，实现模板和承片板上的样品水平方向的粗定位；找平装置中的压力传感器用于压印和分离过程中，对压力进行测量和控制，控制直流伺服电机带动模板实现上、下运动；X－Y微动工作台由二个压电陶管驱动，调节模板和样品之间水平方向的精定位；转动工作台由二个步进电机驱动，分别实现模板和样品之间转角的精定位、粗定位。本发明具有优于20nm定位对准精度，能满足特征尺度在100纳米以下、多层图案的低成本、大批量的制作；能工作于冷压印和热压印两种压印模式，具有较好的灵活性。

主权项

1.一种纳米压印机，其特征在于：在基座(10)上依次安装有X-Y粗动工作台(9)、找平装置(11)、X-Y微动工作台(12)、承片板(13)，转动工作台(8)安装在找平装置(11)的侧面上；支架(4)的下端与基座(10)相固定、支架(4)的上端与横梁(3)相固定，直流伺服电机Z(1)与行星齿轮减速器Z(2)相固定，行星齿轮减速器Z(2)固定在支座(19)上，支座(19)固定在横梁(3)上，联轴器Z(18)将行星齿轮减速器Z(2)的输出轴与滚珠丝杠Z(17)的一端相连，传动螺母Z(16)与滚珠丝杠Z(17)相配合；导轨Z(7)的上端固定在横梁(3)上，直线轴承(6)的内孔与导轨Z(7)外径配合，直线轴承(6)和传动螺母Z(16)均安装在固定板(5)上；模板装夹装置(15)与传动螺母Z(16)相固定。