[发明专利]微晶玻璃与不锈钢材料的超低温阳极键合方法及装置有效
申请号: | 200510020000.9 | 申请日: | 2005-12-13 |
公开(公告)号: | CN1792938A | 公开(公告)日: | 2006-06-28 |
发明(设计)人: | 李宏;程金树;汤李缨;全健;曹欣 | 申请(专利权)人: | 武汉理工大学 |
主分类号: | C03C27/02 | 分类号: | C03C27/02;C03C3/097 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人: | 王守仁 |
地址: | 430070湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明是微晶玻璃与不锈钢材料的超低温阳极键合方法及装置。本方法是:先将样品玻璃进行熔制和按热处理工艺进行处理,然后将获得的微晶玻璃基片和不锈钢基片进行抛光、清洗、干燥,再迅速放进阳极键合装置内,使之在100~180℃及键合电压为600~1000V状态下实现有效阳极键合,并获得新的键合材料。本装置设有真空泵(1)、温度控制器(2)、真空室(3)和高温摄像装置(7),真空室的内腔自上而下依次装有阴极(4)、微晶玻璃基片(5)、不锈钢基片(6)、阳极(8)、加热板(9)和冷却水管(10)。本发明能在较低的键合温度及键合电压下实现材料的有效阳极键合,从而获得残余应力小、键合强度高、密封性好的新材料。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 不锈钢材料 超低温 阳极 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种微晶玻璃与不锈钢材料的阳极键合方法,其特征是一种微晶玻璃与不锈钢材料的超低温阳极键合方法,具体是:首先将样品玻璃即Li2O-ZnO-SiO2系统玻璃的原料进行熔制和按热处理工艺进行处理,获得微晶玻璃基片,然后采用抛光工艺将微晶玻璃基片和不锈钢基片进行抛光、清洗、干燥,再迅速放进阳极键合装置内,使之在100~180℃的超低温及键合电压为600~1000V状态下实现微晶玻璃与不锈钢材料的有效阳极键合,从而获得新的键合材料。
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