[发明专利]一种在磁制冷材料表面制作薄膜的方法及装置

摘要

本发明提供了一种在磁制冷材料表面制作薄膜的方法及装置。采用不同的靶材，可以在磁制冷材料上紧密形成0.1～6μm厚的薄膜，使磁制冷材料在磁制冷机中使用时不受热交换液体的腐蚀，同时不影响热交换。靶材可以是合金如不锈钢，也可以是纯金属如钛、铝、铜、镍或锆。被处理的磁制冷材料可以是颗粒状、片状或丝状。本发明使用的处理装置为低温磁控溅射机，溅射枪和靶材安装在真空室的上部，磁制冷材料置于下部。本发明在真空室内，设计了一种振动机构或搅拌机构，使粒状磁制冷材料在被处理时能充分翻转，达到在磁制冷材料表面形成均匀厚度的薄膜。

主权项

1、一种在磁制冷材料表面制作薄膜的方法，在磁制冷材料上制作一层防腐蚀的金属或合金薄膜，其特征在于在磁控溅射装置内放置耐腐蚀的溅射金属材料作为靶材，利用低温磁控溅射方法在磁制冷材料的表面镀膜，磁控溅射装置的溅射靶在真空室的上部，具有负直流高压200～2000伏，溅射方向从上向下，磁制冷材料在下部，接地，接受溅射出的靶材原子，使磁制冷材料的表面上沉积一层金属或合金薄膜，溅射薄膜可以是一层，也可以是多层。