[发明专利]非晶硅或微晶硅太阳能电池制造装置及其串接系统无效
| 申请号： | 200510022512.9 | 申请日： | 2005-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN1793417A | 公开（公告）日： | 2006-06-28 |
| 发明（设计）人： | 吴海生;成顺康;黄金鹿;成砾;吴娟;王秀娟 | 申请（专利权）人： | 姜堰新金太阳能光伏制造有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225500江苏省姜堰市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种非晶硅或微晶硅太阳能电池制造装置，它包括多个真空镀膜室、真空系统、气路装置，所述多个真空镀膜室列绕于中央真空转换区(10)周围，中央真空转换区(10)内设有马达驱动的机械臂(11)，各镀膜室与中央真空转换区(10)之间由气动闸阀(9)相隔离。所有镀膜室和工作区可同时操作，大大提高了生产效率。可根据需求而加延i层镀膜室以增加出产量，因此本发明可灵活地调整结构，进一步提高生产效率。本发明适宜于电池的连续工业化生产，成本低，光伏转化率高达12％－14％。 | ||
| 搜索关键词： | 非晶硅 微晶硅 太阳能电池 制造 装置 及其 系统 | ||
【主权项】：
1、一种非晶硅或微晶硅太阳能电池制造装置，它包括多个真空镀膜室、真空系统、气路装置，其特征在于：所述多个真空镀膜室列绕于中央真空转换区(10)周围，中央真空转换区(10)内设有马达驱动的机械臂(11)，各镀膜室与中央真空转换区(10)之间由气动闸阀(9)相隔离；真空镀膜室内设有轮轨、用于传送衬底的轨道车，镀好的衬底(13)由机械臂(11)转换到另一真空镀膜室；真空镀膜室内同时还设有电极组件及加热器；所述的真空系统包括真空泵，真空泵通过阀门与中央真空转换区(10)、真空镀膜室相连；气路装置包括气源(7)和气体多头管路(8)，气源(7)通过气体多头管路(8)与各真空镀膜室相连，管路上设有阀门及流量控制器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于姜堰新金太阳能光伏制造有限公司，未经姜堰新金太阳能光伏制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510022512.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：大动态微机械可变光衰减器的制造方法
- 下一篇：一种钢筋砼用立体承力模壳
- 同类专利
- 专利分类
