[发明专利]掺有金属氧化物的氧化镓气体感应膜及其制备方法无效
| 申请号： | 200510023162.8 | 申请日： | 2005-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN1800840A | 公开（公告）日： | 2006-07-12 |
| 发明（设计）人： | 姜复松;郑涛;阮昊 | 申请（专利权）人： | 华东理工大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;G01N27/04;G01N27/26;H01L49/00 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈淑章 |
| 地址： | 200237*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种气体感应膜及其制备方法。所说的气体感应膜是一种掺有5～20(mol)％氧化钨的氧化镓膜，其采用溶胶－凝胶法制得。通过原子粒显微镜证明：由于氧化钨的存在，对氧化镓的粒径产生了明显的控制作用(纯氧化镓膜中的晶粒径为100nm左右，而氧化钨/氧化镓二元金属氧化物膜中的晶粒径在30～40nm)，增大气体感应膜与被测气体的有效接触面积，从而提高了气体感应膜的气体感应性能。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 氧化物 氧化 气体 感应 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种气体感应膜，其特征在于，所说的气体感应膜是掺有5～20mol％氧化钨的氧化镓膜。
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