[发明专利]X射线散斑装置及其在微位移测量中的应用无效
| 申请号： | 200510023203.3 | 申请日： | 2005-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN1632450A | 公开（公告）日： | 2005-06-29 |
| 发明（设计）人： | 陈建文;高鸿奕;李儒新;朱化凤;干慧菁;徐至展 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B9/025 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种X射线散斑装置及其在微位移测量中的应用，所述的X射线散斑装置包括X射线散斑成像装置和读出装置两部分，所述的X射线散斑成像装置由X射线源、待测物、微波带片和记录介质组成，所述的待测物置于X射线源输出的光路上，该待测物的法线与X射线光轴成一夹角θ，所述的微波带片和记录介质与待测物的法线同轴，所述的读出装置由同轴放置的He－Ne激光器、记录有散斑图样的照片和成像屏组成。本发明的X射线散斑装置工作在X射线波段，测试精度较可见光要高3～4数量级，由于采用微波带片预放大，结构非常简单，具有很高的学术价值和应用前景，将填补微位移测量的空白。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 装置 及其 位移 测量 中的 应用 | ||
【主权项】：
1、一种X射线散斑装置，其特征在于该装置包括X射线散斑成像装置和读出装置，所述的X射线散斑成像装置由X射线源(1)、待测物(2)、微波带片(3)和记录介质(4)组成，所述的的待测物(2)置于X射线源(1)输出的光路上，该待测物(2)的法线与X射线光轴成一夹角θ，所述的微波带片(3)和记录介质(4)与待测物(2)的法线同轴，所述的读出装置由同轴放置的He-Ne激光器(5)、记录有散斑图样的照片(6)和成像屏(7)组成。
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