[发明专利]在导电玻璃表面诱导周期性微结构的方法无效
| 申请号： | 200510023207.1 | 申请日： | 2005-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN1648715A | 公开（公告）日： | 2005-08-03 |
| 发明（设计）人： | 赵崇军;赵全忠;曲士良;陈庆希;姜雄伟;杨旅云;邱建荣;朱从善 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02F1/01 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种利用飞秒激光相干场在导电玻璃表面诱导周期性微结构的方法，其特征是采用飞秒激光或更短脉冲激光的相干场作用在导电玻璃的薄膜表面，控制激光的能量使其可消融导电玻璃表面的氧化铟和氧化锡薄膜而不会破坏基体，固定干涉的激光束，利用计算机操纵的三维平台控制导电玻璃样品的移动，在导电玻璃表面诱导出周期性导电微结构薄膜。该结构在传感器、微电子器件方面具有比较重要的用途。 | ||
| 搜索关键词： | 导电 玻璃 表面 诱导 周期性 微结构 方法 | ||
【主权项】：
1、一种利用飞秒激光相干场在导电玻璃表面诱导周期性微结构的方法，其特征是采用飞秒激光或更短脉冲激光的相干场作用在导电玻璃的薄膜表面，控制激光的能量使其可消融导电玻璃表面的氧化铟和氧化锡薄膜而不会破坏基体，固定干涉的激光束，利用计算机操纵的三维平台控制导电玻璃样品的移动，在导电玻璃表面诱导出周期性导电微结构薄膜。
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