[发明专利]整体式三自由度微纳操作器无效
| 申请号： | 200510023220.7 | 申请日： | 2005-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN1644330A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 马奎;董卫军;戴晖 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | B25J7/00 | 分类号： | B25J7/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 20009*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种整体式三自由度微纳操作器，包括基板、压电陶瓷驱动器和平面运动机构，平面运动机构上还串联一个垂直运动机构，所述平面运动机构和垂直运动机构是与基板一体相连的整体式结构，其中的连接点均为整体式柔性铰链，且基板的上下平面高出平面运动机构的上下平面。本发明中的运动机构都是与基板一体的整体式结构，外形扁平化，结构紧凑，体积小，无需装配，避免了装配误差，运动精度高。本发明的操作器能够实现三维空间运动，可应用于在微型机械零件装配、微机电系统组装、超精密加工、光学调整、微外科手术、生物细胞操作等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 整体 自由度 操作 | ||
【主权项】：
1.一种整体式三自由度微纳操作器，包括基板(4)、压电陶瓷驱动器(1)和平面运动机构(3)，平面运动机构(3)上还串联一个垂直运动机构(2)，其特征在于：所述平面运动机构(3)和垂直运动机构(2)是与基板(4)一体相连的整体式结构，其中的连接点均为整体式柔性铰链，且基板(4)的上下平面高出平面运动机构(3)的上下平面。
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