[发明专利]二维微力测量传感器

摘要

本发明涉及一种二维微力测量传感器，应用于微摩擦测试。采用弹性体悬臂结构，由相互垂直的立式弯曲梁和卧式弯曲梁组成，悬臂一端固定，一端安装有摩擦头。立式弯曲梁和卧式弯曲梁均由两平行弹性体组成，弹性体上贴有应变片组成全桥电路。在摩擦测试中，测力传感器受载荷和摩擦力同时作用发生应变变形，其中卧式弯曲梁仅受法向载荷发生应变变形，立式弯曲梁则仅受摩擦力作用发生应变变形，通过应变检测可间接测出法向载荷和摩擦力的大小。本发明具有二维测量能力，能同时测量接触摩擦中的微毫牛级的法向载荷和摩擦力，且只需改变摩擦头类型就可进行点、线、面接触方式的摩擦测试。

主权项

1、一种二维微力测量传感器，其特征在于采用弹性体悬臂结构，立式弯曲梁(2)和卧式弯曲梁(7)分别由两平行弹性体组成，正方体连接块(3)在长度方向连接相互垂直的立式弯曲梁(2)和卧式弯曲梁(7)，组成悬臂主体结构，立式弯曲梁(2)另一端连接固定板(1)形成固定约束，卧式弯曲梁(7)另一端则形成悬臂自由端；四片应变片(4)对称粘贴于卧式弯曲梁(7)任意一片的正反面，组成全桥电路，位置紧靠连接块(3)；另有四片应变片(8)对称粘贴于立式弯曲梁(2)任意一片的正反面，同样组成全桥电路，位置紧靠固定板(1)；悬臂前端(5)连接卧式弯曲梁(7)的自由端，悬臂前端(5)中间开带内螺纹的垂直孔，摩擦头(6)旋入垂直孔中并向下伸出头部。