[发明专利]光激活纳米氧化物半导体气敏传感器无效
| 申请号： | 200510023643.9 | 申请日： | 2005-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN1645120A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 惠春;孙建平;徐爱兰 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04;G01N27/00;H01L49/00 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 毛翠莹 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光激活纳米氧化物半导体气敏传感器，由光激发器、微结构气敏芯片和定位台组成，其中光激发器由照明光源、会聚镜、单色仪和聚焦透镜组构成，以提供频率和强度可调的激发光束，照明光源发射出的光束经会聚镜聚焦，再通过单色仪成为频率可调的单色光，经过聚焦透镜组会聚照射在微结构气敏芯片上，微结构气敏芯片由硅基底、叉形电极和覆盖在叉形电极上的半导体氧化物敏感膜构成，并固定在定位台上。本发明通过调节光激发器出射光束的频率和强度，聚焦照射在微结构气敏芯片上，使光激活气体分子与半导体氧化物敏感膜表面发生化学吸附和脱附反应，通过叉形电极测量敏感膜电阻变化，可在室温下实时快速检测低浓度气体。 | ||
| 搜索关键词： | 激活 纳米 氧化物 半导体 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种光激活纳米氧化物半导体气敏传感器，其特征在于由光激发器、微结构气敏芯片(5)和定位台(6)组成，其中光激发器由照明光源(1)、会聚镜(2)、单色仪(3)和聚焦透镜组(4)构成，整体紧固在支架(7)上，照明光源(1)发射出的光束经会聚镜(2)聚焦，再通过单色仪(3)成为频率可调的单色光，经过聚焦透镜组(4)会聚照射在微结构气敏芯片(5)上，微结构气敏芯片(5)的硅基底(12)上设置叉形电极(9)，叉形电极(9)上覆盖半导体氧化物敏感膜(10)，叉形电极(9)端部引出的两根电极引线(11)连接电阻测量电路，微结构气敏芯片(5)固定在定位台(6)上并可在二维平面内调节移动，支架(7)和定位台(6)固定在减震台(8)上。
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