[发明专利]马赫－曾德尔型相移矢量剪切干涉仪

摘要

一种马赫—曾德尔型相移矢量剪切干涉仪，其构成是：第一分束平板、第二分束平板、第一反射平板和第二反射平板互相平行设置成Mach－Zehnder型结构；在第一分束平板和第一反射平板之间设置有分离式楔板，该楔板的楔角为α，光束在楔板上入射角为θ；第二分束平板和第二反射平板之间设置有楔板，该楔板的楔角为α，光束在楔板上入射角为θ；所述的分离式楔板与楔板的楔角呈正交放置，其中分离式楔板的楔板部分b沿平板部分a移动，改变光程差，产生相移，在所述的第二分束平板后设置CCD相机，该CCD相机的输出端与所述的干涉条纹处理系统的输入端相连。本发明结构简单，成本较低，测量精度高，适合于相干长度短的半导体激光器光源的波面测量。

主权项

1、一种马赫-曾德尔型相移矢量剪切干涉仪，特征在于其构成：第一分束平板(1)、第二分束平板(4)、第一反射平板(2)和第二反射平板(3)互相平行设置成Mach-Zehnder型结构；在第一分束平板(1)和第一反射平板(2)之间设置有分离式楔板(5)，该楔板的楔角为α，光束在楔板上入射角为θ；第二分束平板(3)和第二反射平板(4)之间设置有楔板(6)，该楔板的楔角为α，光束在楔板上入射角为θ；所述的分离式楔板(5)与楔板(6)的楔角呈正交放置，其中分离式楔板(5)的楔板部分b沿平板部分a移动，改变光程差，产生相移，在所述的第二分束平板(4)后设置CCD相机(7)，该CCD相机(7)的输出端与所述的干涉条纹处理系统(8)的输入端相连。