[发明专利]一种多自由度运动和定位装置无效
| 申请号： | 200510024172.3 | 申请日： | 2005-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN1658074A | 公开（公告）日： | 2005-08-24 |
| 发明（设计）人： | 刘育;郭麒;朱岳彬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201203上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种多自由度运动和定位装置，它由调平轴、柔性块、轨迹板和由立柱框架、提升旋转分离机构、导轨、导轨平台、电机平台、运动平台共同构成的支撑机构所组成；该调平轴旋合在立柱框架上，通过旋转调平轴来精确调整其支撑的调整平台；该轨迹板固定在立柱框架上，而轨迹销则固定在运动平台上，该提升旋转分离机构的上主轴通过压紧螺母固定在导轨平台底部。其结构紧凑，支承荷载大，可减轻冲击，高度、水平可调节，具有多个自由度，并且能按预定轨迹准确运动，且运动平稳，可靠性高，并能实现机构的提升、旋转及分离。特别是在光刻设备制造中，用于支撑光刻机掩模台并使掩模台按预定轨迹运动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自由度 运动 定位 装置 | ||
【主权项】：
1、一种多自由度运动和定位装置，其特征在于：它由调平轴(2)、柔性块(5)、轨迹板(102)和由立柱框架(1)、提升旋转分离机构(3)、导轨(8)、导轨平台(7)、电机平台(9)、运动平台(12)共同构成的支撑机构所组成；其中，该调平轴(2)旋合在立柱框架(1)上，通过旋转调平轴(2)来精确调整其支撑的调整平台(6)；该轨迹板(102)固定在立柱框架(1)上，而轨迹销(101)则固定在运动平台(12)上，该提升旋转分离机构(3)的上主轴(310)通过压紧螺母(312)固定在导轨平台(7)底部。
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