[发明专利]一种防止气体泄漏的装置有效
申请号: | 200510024214.3 | 申请日: | 2005-03-04 |
公开(公告)号: | CN1828102A | 公开(公告)日: | 2006-09-06 |
发明(设计)人: | 杨跃 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | F16K3/24 | 分类号: | F16K3/24;F16K31/122;F16K51/00 |
代理公司: | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人: | 楼仙英 |
地址: | 201203上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种防止气体泄漏的装置,至少包括:一气体转换腔;一基台,其内部设置有一特殊气体通道穿过,其上部设置有一凹槽,该凹槽底部与该特殊气体通道连通;一挡板,活动设置于气体转换腔内,将气体转换腔区隔为第一腔室和第二腔室;一连杆,其上端连接于一挡板,其下端穿设于凹槽,一活塞,与连杆的下端固定连接,并活动设置于基台凹槽与特殊气体通道间,一密封垫,套设于连杆,其上端设置于基台与气体转换腔之间,其下端设置于凹槽;一保护盒,包覆在气体转换腔与基台的外部;两个第一气体输送管道,设置在保护盒上,并分别连接至气体转换腔的第一腔室和第二腔室;一第二气体输送管道,设置在保护盒上;以及一排气管,设置在保护盒上。 | ||
搜索关键词: | 一种 防止 气体 泄漏 装置 | ||
【主权项】:
1.一种防止气体泄漏的装置,包括:一气体转换腔;一基台,其内部设置有一特殊气体通道穿过,以提供特殊气体通过,其上部设置有一凹槽,该凹槽底部与该特殊气体通道连通;一挡板,活动设置于气体转换腔内,将气体转换腔区隔为第一腔室和第二腔室;一连杆,其上端连接于该挡板,其下端穿设于凹槽,一活塞,与连杆的下端固定连接,并活动设置于基台凹槽与特殊气体通道间,以起到一阀门的作用,一密封垫,套设于连杆,其上端设置于基台与气体转换腔之间,其下端设置于凹槽;其特征在于,还包括:一保护盒,包覆在气体转换腔与基台的外部;两个第一气体输送管道,设置在保护盒上,并分别连接至气体转换腔的第一腔室和第二腔室;一第二气体输送管道,设置在保护盒上;以及一排气管,设置在保护盒上。
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