[发明专利]一种防止气体泄漏的装置有效

专利信息
申请号: 200510024214.3 申请日: 2005-03-04
公开(公告)号: CN1828102A 公开(公告)日: 2006-09-06
发明(设计)人: 杨跃 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: F16K3/24 分类号: F16K3/24;F16K31/122;F16K51/00
代理公司: 上海新高专利商标代理有限公司 代理人: 楼仙英
地址: 201203上海市浦*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种防止气体泄漏的装置,至少包括:一气体转换腔;一基台,其内部设置有一特殊气体通道穿过,其上部设置有一凹槽,该凹槽底部与该特殊气体通道连通;一挡板,活动设置于气体转换腔内,将气体转换腔区隔为第一腔室和第二腔室;一连杆,其上端连接于一挡板,其下端穿设于凹槽,一活塞,与连杆的下端固定连接,并活动设置于基台凹槽与特殊气体通道间,一密封垫,套设于连杆,其上端设置于基台与气体转换腔之间,其下端设置于凹槽;一保护盒,包覆在气体转换腔与基台的外部;两个第一气体输送管道,设置在保护盒上,并分别连接至气体转换腔的第一腔室和第二腔室;一第二气体输送管道,设置在保护盒上;以及一排气管,设置在保护盒上。
搜索关键词: 一种 防止 气体 泄漏 装置
【主权项】:
1.一种防止气体泄漏的装置,包括:一气体转换腔;一基台,其内部设置有一特殊气体通道穿过,以提供特殊气体通过,其上部设置有一凹槽,该凹槽底部与该特殊气体通道连通;一挡板,活动设置于气体转换腔内,将气体转换腔区隔为第一腔室和第二腔室;一连杆,其上端连接于该挡板,其下端穿设于凹槽,一活塞,与连杆的下端固定连接,并活动设置于基台凹槽与特殊气体通道间,以起到一阀门的作用,一密封垫,套设于连杆,其上端设置于基台与气体转换腔之间,其下端设置于凹槽;其特征在于,还包括:一保护盒,包覆在气体转换腔与基台的外部;两个第一气体输送管道,设置在保护盒上,并分别连接至气体转换腔的第一腔室和第二腔室;一第二气体输送管道,设置在保护盒上;以及一排气管,设置在保护盒上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200510024214.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top