[发明专利]六自由度精密定位工作台

摘要

一种六自由度精密定位工作台，它由上下两层平台连接而成，其中下层平台由两组双平行板式柔性铰链作为导向机构，采用三组驱动单元实现两个方向的平动和一个方向的转动。上层平台与下层平台的运动平台部分连接，采用三组等边三角形布置的驱动单元和球面副柔性铰链实现一个方向的平动和两个方向的转动。驱动单元采用压电陶瓷致动器，使位移输出分辨率和定位精度高，频率响应快，无机械摩擦，且机构定位可以实现补偿。本发明可实现纳米级的定位精度。

主权项

1、一种六自由度精密定位工作台，其特征在于它由上层平台(2)和底层平台(1)构成：所述的底层平台(1)上包含固定台体(1-1)、运动平台(1-2)、第一平行板式柔性铰链(1-3)、第二平行板式柔性铰链(1-4)、三组柔性铰链(1-5)和连接凸台(1-6)，三组相同的第一压电陶瓷致动器(8)和紧定件(9)；所述的上层平台(2)通过三组相同的第二压电陶瓷致动器(6)、传动构件(5)、紧定螺钉(4)、连接螺钉(3)、锁紧螺钉(7)与底层平台(1)的运动平台(1-2)连接，形成一个运动整体；三组柔性铰链(1-5)和连接凸台(1-6)中的一组的中心线与第一双平行板柔性铰链(1-3)的对称中心线重合，另外两组对称地布置于第二双平行板柔性铰链(1-4)的对称轴两侧；三组第一压电陶瓷致动器(8)通过各自的紧定件(9)与连接凸台(1-6)和柔性铰链(1-5)形成三组水平面内的驱动单元；垂直方向驱动的三组第二压电陶瓷致动器(6)呈等边三角形排列，其下端通过锁紧螺钉(7)内嵌在底层平台(1)的运动平台(1-2)上，上端连接传动构件(5)，通过紧定螺钉(4)和连接螺钉(3)与上层平台(2)连接成一体；由连接螺钉(3)、紧定螺钉(4)、传动构件(5)、第二压电陶瓷致动器(6)、锁紧螺钉(7)形成垂直面内的三组驱动单元。