[发明专利]用于封装半导体芯片/贴片的锡球的制造方法有效
申请号: | 200510024493.3 | 申请日: | 2005-03-21 |
公开(公告)号: | CN1838392A | 公开(公告)日: | 2006-09-27 |
发明(设计)人: | 王旭;王国富 | 申请(专利权)人: | 肯麦特(上海)材料科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/48;H01L21/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 左一平 |
地址: | 201100上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于封装半导体芯片/贴片的锡球的制造方法,先将金属线材予以裁切成所需尺寸的截线材,再将截线材予以进行清洗处理,清洗处理将甘油(丙三醇)加温183℃或400℃以下不等(视材质所处熔融状态的温度)后,将材料与甘油混合、熔融后,经由自由落体的方式,以制成所需求尺寸(公差范围内)的锡球形体,再将成型的锡球表面予以清洗处理,并加入抗氧化排除静电处理,再完成筛选处理及检验工作,以制成符合真圆度佳及高良品率要求的封装用锡球,能大幅提高制造程序能力,节省制造成本,在使用上具有更精准上板焊固精度的特性,且整体良品率能达到95%以上,符合高良品率的量产需求,也可大幅提高其在产业上的竞争力。 | ||
搜索关键词: | 用于 封装 半导体 芯片 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种用于封装半导体芯片/贴片的锡球的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:a、裁切步骤:将锡丝裁切成规定长度的截线段材;b、清洗步骤:将裁切的截线段材进行清洗;c、烘干步骤:将清洗过的截线段材进行烘干;d、成型步骤:将烘干后的截线段材经与升温的甘油混合、熔融后,以自由落体的方式将熔融的材料落入筛网,通过筛网的网眼滴落形成不同规格的锡球;e、清洗步骤:将形成的锡球表面的甘油进行清洗并进行抗静电和抗氧化处理;f、烘干步骤:对清洗后的锡球进行烘干;g、筛选步骤:根据工业封装所需的要求筛选锡球规格;h、包装将经筛选的锡球进行分类包装。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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