[发明专利]数字干涉位相差放大方法无效

专利信息
申请号: 200510024986.7 申请日: 2005-04-08
公开(公告)号: CN1670502A 公开(公告)日: 2005-09-21
发明(设计)人: 陈建文;高鸿奕;李儒新;徐至展 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02;G01M11/00
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 代理人: 张泽纯
地址: 201800上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种数字干涉位相差放大方法,其特征在于该方法包括以下步骤:搭建一台马赫—陈德尔干涉仪;在该马赫—陈德尔干涉仪上用一架普通的数码相机拍摄一张带有载波条纹的干涉图样;在该马赫—陈德尔干涉仪的一个臂中,放入一块待测的位相样品,再拍摄一张被样品调制的载波条纹的干涉图样;将两张干涉图样输入到计算机中去,进行傅里叶变换并滤波,然后进行逆变换,即可获得两个干涉图样的位相信息;计算机将取出的两个位相信息相减后再乘以正整数N进行放大,就获得放大了N倍的位相差信息。本发明方法简便易行,高灵敏地探测波面形状,其精度可优于1/500波长。
搜索关键词: 数字 干涉 相差 放大 方法
【主权项】:
1、一种数字干涉位相差放大方法,其特征在于该方法包括以下5个步骤:1)搭建一台马赫—陈德尔干涉仪;2)在该马赫—陈德尔干涉仪上用一架普通的数码相机拍摄一张带有载波条纹的干涉图样;3)在该马赫—陈德尔干涉仪的一个臂中,放入一块待测的位相样品,再拍摄一张被样品调制的载波条纹的干涉图样;4)将两张干涉图样输入到计算机中去,进行傅里叶变换并滤波,然后进行逆变换,即可获得两个干涉图样的位相信息;5)计算机将取出的两个位相信息相减后再乘以正整数N进行放大,就获得放大了N倍的位相差信息。
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