[发明专利]光学膜厚监控系统无效
| 申请号： | 200510024987.1 | 申请日： | 2005-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN1707307A | 公开（公告）日： | 2005-12-14 |
| 发明（设计）人： | 朱美萍;易葵;郭世海;邵建达;王丹;申雁鸣;傅小勇;毕军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G01B11/06;C23C14/52;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种实时监控镀膜过程中薄膜厚度的光学膜厚监控系统，特征在于其结构包括光源发射系统、监控片、信号接收系统和锁相放大器四部分：所述的光源发射系统由带光电池的光源和沿该光源发出的光束的前进方向依次设置的聚光镜、光阑、单排孔调制盘和准直镜组成，所述的信号接收系统由依次设置的折光元件、会聚镜、单色仪和光电倍增管组成一同光轴系统。本发明既适用于垂直透射式光学膜厚监控系统，又适于作反射式光学膜厚监控系统，安装变换方便而且监控的精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 监控 系统 | ||
【主权项】：
1、一种实时监控镀膜过程中薄膜厚度的光学膜厚监控系统，特征在于其结构包括光源发射系统(18)、监控片(14)、信号接收系统(19)和锁相放大器(12)四部分：所述的光源发射系统(18)由带光电池(17)的光源(1)和沿该光源(1)发出的光束的前进方向依次设置的聚光镜(15)、光阑(4)、单排孔调制盘(5)和准直镜(16)组装成一体，所述光阑(4)的光阑孔置于聚光镜(15)的焦点处，所述的单排孔调制盘(5)设有光开关(6)，该单排孔调制盘(5)周沿的调制孔(51)贴近所述光阑(4)的光阑孔并位于所述的光源发射系统(18)发出的光束上；所述的信号接收系统(19)由依次设置的折光元件(9)、会聚镜(8)、单色仪(7)和光电倍增管(10)组装成一同光轴系统；所述的光电倍增管(10)的信号输出端通过屏蔽线与锁相放大器(12)的信号输入端相连，光开关(6)的信号输出端通过屏蔽线与锁相放大器(12)的参考信号输入端相连，光电池(17)的光源强度信号输出端通过屏蔽线与锁相放大器(12)的辅助输入端相连；所述的监控片(14)置于镀膜机的真空室(13)中并位于所述的光源发射系统(18)的光束上，所述的折光元件(9)既与所述的光源发射系统(18)的光束成45°，又与所述的信号接收系统(19)的光轴成45°。
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