[发明专利]利用有机涂层制造半导体图象传感器的方法有效
| 申请号： | 200510025215.X | 申请日： | 2005-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN1855516A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 朱骏 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司;上海华虹(集团)有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/146 | 分类号： | H01L27/146 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市张*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明为一种利用有机涂层制造半导体图象传感器的优化工艺。本发明中利用顶部和底部有机涂层的抗反射特性，降低基底的反射光强度，减少由于杂光而导致含有滤光材料的负性光敏光刻胶交联产生的基底底膜残留问题；同时依靠顶部有机涂层所包含的表面显影活性剂，优化显影工艺，降低由于显影不良而产生的顶部薄膜残留问题，恰当的使用顶部和底部有机涂层，有效的改善和优化半导体图象传感器的滤光层的制造工艺，大大提高器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 有机 涂层 制造 半导体 图象 传感器 方法 | ||
【主权项】：
1、一种利用有机涂层制造半导体图象传感器的方法，其特征在于：在半导体图象传感器滤光层顶部和底部涂布抗反射显影加强层，调整反射率。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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