[发明专利]一种去除光阻层的组合物及其使用方法有效
| 申请号： | 200510025822.6 | 申请日： | 2005-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN1862392A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 王淑敏;俞昌 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 上海虹桥正瀚律师事务所 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203上海市龙东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新的用来去除光阻层的组合物及该组合物的使用方法。该组合物包括极性溶剂和氧化剂。本发明的组合物使用了毒性小、可燃性小的化学物质且减少了化学成分的用量，使得其与环境更加友善，减少化学废物处理的费用；该组合物的使用方法缩短了清洁工艺时间，将残留物除去得更彻底，最终提高导电性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 去除 光阻层 组合 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1、一种去除光阻层的组合物，其包括极性溶剂，其特征在于还包括氧化剂。
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