[发明专利]抛光浆料有效
| 申请号： | 200510025866.9 | 申请日： | 2005-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN1865386A | 公开（公告）日： | 2006-11-22 |
| 发明（设计）人： | 肖正龙;杨春晓 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海虹桥正瀚律师事务所 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203上海市龙东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械抛光浆料，其包括研磨颗粒、载体和添加剂，其中该添加剂带有亲水基团。本发明通过改变抛光浆料中添加剂的结构，从而改变钝化膜的性质，最终消除抛光衬底表面的缺陷或将缺陷水平降至最低程度。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 浆料 | ||
【主权项】：
1、一种抛光浆料，其包括研磨颗粒、载体和添加剂，其特征在于该添加剂带有亲水基团。
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