[发明专利]一种玻璃光波导的制作方法无效
| 申请号： | 200510026155.3 | 申请日： | 2005-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN1719291A | 公开（公告）日： | 2006-01-11 |
| 发明（设计）人： | 吴亚明;郝寅雷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B6/134 | 分类号： | G02B6/134;G02B6/136 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种玻璃光波导的制作方法，其主要特征是：首先通过离子交换工艺制备平板光波导，而后采用干法刻蚀或者湿法腐蚀工艺在平板光波导的基础上获得条形光波导或者脊形光波导。制作工艺是(1)用离子交换工艺在玻璃的表面获得扩散层；(2)通过光刻、掩膜、湿法腐蚀或干法刻蚀工艺，在步骤(1)形成的扩散层上制作条形光波导或脊形光波导的芯层；(3)制作上包层。在步骤(1)和(2)之间或步骤(2)和(3)之间进行第二次离子交换，每次离子交换工艺后选择性插入退火工艺。与常用的离子交换法相比，这种方法具有更大的灵活性，可以更方便地控制光波导芯部的几何形状和折射率分布，从而更方便地对光波导的模场分布进行优化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 波导 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种玻璃光波导的制作方法，其特征在于通过离子交换工艺制备平板光波导，而后采用干法刻蚀或者湿法腐蚀工艺在平板光波导的基础上获得条形光波导或者脊型光波导。
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