[发明专利]多功能位相差放大数字干涉仪无效
| 申请号： | 200510026451.3 | 申请日： | 2005-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN1693867A | 公开（公告）日： | 2005-11-09 |
| 发明（设计）人： | 陈建文;高鸿奕;李儒新;徐至展 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01B9/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种多功能位相放大数字干涉仪，包括激光光源，在该激光光源的激光输出光路上依次设有扩束望远镜和第一分束器，在该第一分束器的反射光路上设第二分束器，该第二分束器的反射光路上有第一全反射镜，一待测样品置于所述的第二分束器和第一全反射镜之间，第一全反射镜的反射光经待测样品透过第二分束器和第二半透半反镜到达CCD，在所述的第一分束器的透射光路上设有第一半透半反镜和第二全反射镜，由第二全反射镜反射的光经所述的第一半透半反镜的反射后经第二半透半反镜反射到达CCD，该CCD的输出端与计算机相连。由于本发明不采用高精度标准面板，因而可以克服Zygo干涉仪测试精度低，价格昂贵的缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 多功能 相差 放大 数字 干涉仪 | ||
【主权项】：
1、一种多功能位相放大数字干涉仪，包括激光光源(1)，其特征是在激光光源(1)的激光输出光路上依次设有扩束望远镜(2)和第一分束器(3)，在该第一分束器(3)的反射光路上设第二分束器(5)，该第二分束器(5)的反射光路上有第一全反射镜(6)，一待测样品(8)置于所述的第二分束器(5)和第一全反射镜(6)之间，第一全反射镜(6)的反射光经待测样品(8)透过第二分束器(5)和第二半透半反镜(7)到达CCD(9)，在所述的第一分束器(3)的透射光路上设有第一半透半反镜(4)和第二全反射镜(10)，由第二全反射镜(10)反射的光经所述的第一半透半反镜(4)的反射后经第二半透半反镜(7)反射到达CCD(9)，该CCD(9)的输出端与计算机(10)相连。
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