[发明专利]532纳米波长的高衍射效率石英透射光栅无效
| 申请号： | 200510026557.3 | 申请日： | 2005-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN1693928A | 公开（公告）日： | 2005-11-09 |
| 发明（设计）人： | 周常河;张妍妍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种532纳米波长的高衍射效率石英透射光栅，为高密度矩形深刻蚀石英光栅，该光栅的线密度为1700～1920线/毫米，光栅的深度为0.9～1.1微米，光栅的占空比为1/2，本发明对532纳米波长可以同时使TE、TM偏振方向的+1级布拉格透射衍射效率实现高于85％，特别是当光栅密度为1830线/毫米，光栅深度为1微米时，TE和TM偏振模式的效率均大于94％；当光栅密度为1870线/毫米，光栅深度为0.9微米时，TE偏振模式下+1级布拉格透射衍射效率有最大值97.99％。本发明石英透射光栅由微电子光刻工艺、深刻蚀工艺加工而成，低成本、可以大批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 532 纳米 波长 衍射 效率 石英 透射 光栅 | ||
【主权项】：
1、一种532纳米波长的高衍射效率石英透射光栅，是高密度矩形深刻蚀石英光栅，其特征在于该光栅的线密度为1700～1920线/毫米，光栅的深度为0.9～1.1微米，光栅的占空比为1/2。
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