[发明专利]基于信息素的用于半导体生产线的动态调度方法

摘要

本发明公开了一种基于信息素的用于半导体生产线的动态调度方法。该调度方法的实施步骤为：首先，为每个WIP存储信息素变量，该变量与该WIP的交货期、待加工工序对设备的占用时间、WIP各工序的净加工时间以及WIP的生产周期倍增因子相关；其次，为每个设备存储信息素变量，该变量与设备负载相关，然后，把多个WIP的信息素变量以及相关的设备的信息素变量进行综合，为每个WIP生成一个选择变量；最后，根据该方法，对多个WIP比较选择变量以选择多个WIP中的一个用于在该设备上加工。该调度方法可以同时改善生产或制造系统的多个性能指标，包括短期性能指标以及长期性能指标。

主权项

1、一种基于信息素的用于半导体生产线的动态调度方法，其特征在于，按如下步骤对半导体生产线进行动态调度：(1)、为每个在制品WIP分配一个唯一的标注码，并将与每个在制品WIP相关的变量存储到计算机中；(2)、将在制品WIP发送到可将其加工成某特定产品所需的某一设备的缓冲区；(3)、按下述公式对每个设备的信息素变量赋值，并将该赋值存储到计算机中；${\tau }_e^t=\frac{\Sigma T_{\mathrm{WIP}}}{T_e}$ (4)、判断该设备是否空闲，如果设备空闲，则按下述公式对处于设备缓冲区的每个在制品WIP信息素变量赋值，并存储在计算机中，如果设备不空闲，则等待至该设备空闲；${\tau }_n^t=\left\{\begin{array}{cc}\mathrm{MAX}& {\mathrm{RPT}}_n\times {\mathrm{FF}}_n\ge O_n-t\\ \frac{\mathrm{RP}{T}_n\times {\mathrm{FF}}_n}{(O_n-t+1)}-\frac{{\mathrm{PT}}_n}{{\Sigma }_n{\mathrm{PT}}_n}& {\mathrm{RPT}}_n\times {\mathrm{FF}}_n<O_n-t\end{array}\right.$ (5)、按下述公式计算每个在制品WIP的选择变量，并存储到该计算机中；$P_n^t=\left\{\begin{array}{cc}{t}_n^w& {\tau }_n^t=\mathrm{MAX}\\ {\tau }_n^t-{\tau }_{e+1}^t& {\tau }_n^t\ne \mathrm{MAX}\end{array}\right.$ (6)、将各个在制品WIP选择变量进行比较，如果某个在制品WIP选择变量为在该设备缓冲区处的所有等待的在制品WIP中选择变量为最大的，则计算机指示该设备加工该在制品WIP，如果不是最大的，则重复步骤(4)、(5)；(7)、判断加工完成后的在制品WIP是否需要废弃，如果要求废弃，则结束该在制品WIP的制造过程，如果不要求废弃，则检验该在制品WIP是否满足作为某特定产品类型的质量标准，如果满足质量标准，则将该在制品WIP移送到下一加工设备的缓冲区，如果不满足，则结束该在制品WIP制造过程；(8)、对下一加工设备重复步骤(3)至步骤(8)的过程。